イオンビームエッチング电子束蚀刻: でんしせんリソグラフィーでんしせんろこうでんしせんびょうが电子束蚀刻法: でんしビームリソグラフ离子蚀刻: イオンミリング等离子蚀刻: プラズマエッチング离子离子束: クラスタイオン下载手机日语词典可随时随地查词查翻译